n产品概述
中功率准分子激光器广泛应用于科研、工业、医疗等。PLD系列中功率准分子激光器，输出功率可达30W，单脉冲能量可达550mJ，可用于PLD、微细加工、LDP、材料表面处理、激光退火、光谱分析等。
脉冲激光沉积（PLD）技术是薄膜制备的重要方法之一，目前已经成为材料学研究领域广泛应用的通用设备。PLD设备通常由准分子激光器和真空腔体组成。PLD 系列准分子激光器为脉冲激光沉积设备配套用激光器，波长193nm、248nm、308nm、351nm全系列可供选择。PLD 20 输出能量最大可达550mJ，PLD 150最高重复频率可到150Hz，用户可以根据需要选择。
n产品特点
l 常用波长全系列可供选择，用户后期仍可更改
l 极低的输出光束发散角，保障聚焦光斑能量密度
l 采用磁助器激励回路设计，有效延长高压闸流管寿命
l 包含高压静电除尘装置，激光工作气体寿命长
l 体积紧凑，节约实验室空间
n技术参数
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型号 |
PLD20型 |
PLD150型 |
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介质气体 |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
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波长(nm) |
193 |
248 |
308 |
351 |
193 |
248 |
308 |
351 |
|
最大单脉冲能量(mJ) |
450 |
550 |
450 |
300 |
180 |
250 |
180 |
150 |
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平均功率(W) |
7 |
10 |
7 |
5 |
25 |
30 |
25 |
20 |
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最大重复频率 (Hz) |
20 |
150 |
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脉冲宽度 (ns)(FWHM） |
~25 |
~20 |
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能量稳定性(sigma %) |
3 |
3 |
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光斑尺寸(mm) (V×H,nominal) |
22×6 |
14×5 |
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发散角(mrad) (V×H,nominal) |
~3×1 |
~3×1 |
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n产品规格
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PLD20型 |
PLD150型 |
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重量 |
230kg |
200kg |
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冷却方式 |
Water cooling |
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电源要求 |
220V/50Hz/14A/1 phase |
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外形尺寸(L×W×H) |
1000mm×450mm×660mm |
1300mm×400mm×900mm |