n产品概述
定制型准分子激光器根据客户特殊需要，设计满足客户需求功能和指标的机型。可针对科研、医疗、工业等行业应用，采用先进的单元技术，提供满足客户需求的非标准准分子激光器及后端光学处理系统。如超高重复频率、极大能量、极高功率、长/短脉冲、极高同步精度、极低发散角等特殊需求。
n产品特点
l 技术参数根据用户需求定制
l 介质气体、工作波长全系列可供选择
l 采用全固态脉冲激励技术，最高重复频率可达4000Hz
l 采用低抖动信号设计，出光与外部触发信号抖动<±3ns
l 采用脉冲展宽技术，输出激光脉宽可拉长至150ns
l 采用非稳腔技术，输出发散角可低至0.2mrad
l 采用已掌握先进单元核心技术，定制成本低
n技术参数
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参数名称 |
可定制参数 |
技术说明 |
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介质气体 |
ArF、KrF、XeCl、XeF |
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波长 |
193nm、248nm、308nm、351nm |
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单脉冲能量 |
1-1000mJ |
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平均功率 |
0-100W |
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重复频率 |
0-4000Hz |
采用全固态脉冲激励技术，可重复率长寿命稳定运行。 |
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精确同步 |
出光与外部触发信号抖动<±3ns |
采用低抖动信号设计，适合精密测量、与其它设备严格协同工作等。 |
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脉冲宽度 |
6ns-150ns（FWHM） |
采用脉冲压缩、展宽技术，输出激光脉宽可选择。 |
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发散角 |
<0.2×0.2mrad (V×H, nominal) |
采用非稳腔技术，输出极低发散角 |
n产品规格
根据用户需求