n产品概述
中功率准分子激光器广泛应用于科研、工业、医疗等。PLD系列中功率准分子激光器，输出功率可达30W，单脉冲能量可达550mJ，可用于PLD、微细加工、LDP、材料表面处理、激光退火、光谱分析等。
脉冲激光沉积（PLD）技术是薄膜制备的重要方法之一，目前已经成为材料学研究领域广泛应用的通用设备。PLD设备通常由准分子激光器和真空腔体组成。PLD 系列准分子激光器为脉冲激光沉积设备配套用激光器，波长193nm、248nm、308nm、351nm全系列可供选择。PLD 20 输出能量最大可达550mJ，PLD 150最高重复频率可到150Hz，用户可以根据需要选择。
n产品特点
l 常用波长全系列可供选择，用户后期仍可更改
l 极低的输出光束发散角，保障聚焦光斑能量密度
l 采用磁助器激励回路设计，有效延长高压闸流管寿命
l 包含高压静电除尘装置，激光工作气体寿命长
l 体积紧凑，节约实验室空间
n技术参数
|
型号
|
PLD20型
|
PLD150型
|
|
介质气体
|
ArF
|
KrF
|
XeCl
|
XeF
|
ArF
|
KrF
|
XeCl
|
XeF
|
|
波长(nm)
|
193
|
248
|
308
|
351
|
193
|
248
|
308
|
351
|
|
最大单脉冲能量(mJ)
|
450
|
550
|
450
|
300
|
180
|
250
|
180
|
150
|
|
平均功率(W)
|
7
|
10
|
7
|
5
|
25
|
30
|
25
|
20
|
|
最大重复频率 (Hz)
|
20
|
150
|
|
脉冲宽度 (ns)(FWHM）
|
~25
|
~20
|
|
能量稳定性(sigma %)
|
3
|
3
|
|
光斑尺寸(mm)
(V×H,nominal)
|
22×6
|
14×5
|
|
发散角(mrad)
(V×H,nominal)
|
~3×1
|
~3×1
|
n产品规格
| |
PLD20型
|
PLD150型
|
|
重量
|
230kg
|
200kg
|
|
冷却方式
|
Water cooling
|
|
电源要求
|
220V/50Hz/14A/1 phase
|
|
外形尺寸(L×W×H)
|
1000mm×450mm×660mm
|
1300mm×400mm×900mm
|
