n产品概述
定制型准分子激光器根据客户特殊需要，设计满足客户需求功能和指标的机型。可针对科研、医疗、工业等行业应用，采用先进的单元技术，提供满足客户需求的非标准准分子激光器及后端光学处理系统。如超高重复频率、极大能量、极高功率、长/短脉冲、极高同步精度、极低发散角等特殊需求。
n产品特点
l 技术参数根据用户需求定制
l 介质气体、工作波长全系列可供选择
l 采用全固态脉冲激励技术，最高重复频率可达4000Hz
l 采用低抖动信号设计，出光与外部触发信号抖动<±3ns
l 采用脉冲展宽技术，输出激光脉宽可拉长至150ns
l 采用非稳腔技术，输出发散角可低至0.2mrad
l 采用已掌握先进单元核心技术，定制成本低
n技术参数
|
参数名称
|
可定制参数
|
技术说明
|
|
介质气体
|
ArF、KrF、XeCl、XeF
|
|
|
波长
|
193nm、248nm、308nm、351nm
|
|
|
单脉冲能量
|
1-1000mJ
|
|
|
平均功率
|
0-100W
|
|
|
重复频率
|
0-4000Hz
|
采用全固态脉冲激励技术，可重复率长寿命稳定运行。
|
|
精确同步
|
出光与外部触发信号抖动<±3ns
|
采用低抖动信号设计，适合精密测量、与其它设备严格协同工作等。
|
|
脉冲宽度
|
6ns-150ns（FWHM）
|
采用脉冲压缩、展宽技术，输出激光脉宽可选择。
|
|
发散角
|
<0.2×0.2mrad (V×H, nominal)
|
采用非稳腔技术，输出极低发散角
|
n产品规格
根据用户需求
