n产品概述
定制型准分子激光器根据客户特殊需要,设计满足客户需求功能和指标的机型。可针对科研、医疗、工业等行业应用,采用先进的单元技术,提供满足客户需求的非标准准分子激光器及后端光学处理系统。如超高重复频率、极大能量、极高功率、长/短脉冲、极高同步精度、极低发散角等特殊需求。
n产品特点
l 技术参数根据用户需求定制
l 介质气体、工作波长全系列可供选择
l 采用全固态脉冲激励技术,最高重复频率可达4000Hz
l 采用低抖动信号设计,出光与外部触发信号抖动<±3ns
l 采用脉冲展宽技术,输出激光脉宽可拉长至150ns
l 采用非稳腔技术,输出发散角可低至0.2mrad
l 采用已掌握先进单元核心技术,定制成本低
n技术参数
参数名称
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可定制参数
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技术说明
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介质气体
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ArF、KrF、XeCl、XeF
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波长
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193nm、248nm、308nm、351nm
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单脉冲能量
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1-1000mJ
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平均功率
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0-100W
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重复频率
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0-4000Hz
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采用全固态脉冲激励技术,可重复率长寿命稳定运行。
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精确同步
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出光与外部触发信号抖动<±3ns
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采用低抖动信号设计,适合精密测量、与其它设备严格协同工作等。
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脉冲宽度
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6ns-150ns(FWHM)
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采用脉冲压缩、展宽技术,输出激光脉宽可选择。
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发散角
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<0.2×0.2mrad (V×H, nominal)
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采用非稳腔技术,输出极低发散角
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n产品规格
根据用户需求